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Transmission electron microscopy of silicon VLSI circuits and structures / R.B. Marcus and T.T. Sheng.
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Wiley |
| 出版年 | c1983. |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | x, 217 p. : ill. ; 29 cm. |
目次／あらすじ
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| 巻 次 | 配架場所 | 自動書庫 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 予約 | 仮想書架 | コース・リザーブ |
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ASRS (自動化書庫) | 549/Ma5132t | 02939814 |
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0471092517 |
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| 一般注記 | "A Wiley-Interscience publication." Includes bibliographical references and index. |
|---|---|
| 著者標目 | Marcus, R. B. Sheng, T. T. |
| 件 名 | Integrated circuits Electron microscopy Transmission electron microscopes |
| 分 類 | NDC:549 |
| 書誌ID | 1000039248 |
| ISBN | 0471092517 |
| NCID |
BA10264217 
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