ハクマク
薄膜
(実験物理学講座 / 近角聡信〔ほか〕企画編集 ; 8)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 共立出版 |
出版年 | 1992.9 |
大きさ | 418p ; 22cm |
目次/あらすじ
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巻 次 | 配架場所 | 自動書庫 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 予約 | コース・リザーブ |
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8 | ASRS (自動化書庫) | 422.08/J51/v.8 | 04245141 |
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432003063X |
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内容注記 | 内容:薄膜製作技術 真空蒸着法 末沢慶孝,権藤靖夫著. プラズマやイオンを用いた成膜法 松原覚衛著. スパッタ法 中井順吉著. 化学的方法 有住徹弥著. 薄膜 導電体薄膜・誘電体薄膜・半導体薄膜 中井順吉著. 磁性薄膜 角野圭一著. 超伝導薄膜 菅原昌敬著. 人工格子膜 新庄輝也著. 薄膜製作技術補遺 権藤靖夫著. 各章末:文献 |
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著者標目 | 近角, 聡信 <チカスミ,ソウシン> 権藤, 靖夫 <ゴンドウ,ヤスオ> |
件 名 | 物理学--実験 薄膜 |
分 類 | NDC:422.08 |
書誌ID | 1001170971 |
ISBN | 432003063X |
NCID |
BN07958297 ![]() |