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ポスト シリコン ハンドウタイ : ナノ セイマク ダイナミクス ト キバン カイメン コウカ
ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果

データ種別 図書
出版者 東京 : エヌ・ティー・エス
出版年 2013.6
本文言語 日本語
大きさ 2, 10, 510, 15p, 図版18p : 挿図 ; 27cm
目次/あらすじ

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GF: 一般書架 549.8/P84 08013366
9784864690591

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別書名 異なりアクセスタイトル:ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板界面効果
一般注記 文献: 各節末
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC9:549.8
書誌ID 4100049398
ISBN 9784864690591
NCID BB12654468 WCLINK

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