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プロセス インテグレーション
プロセスインテグレーション / 谷口研二, 鳥海明, 財満鎭明編著 ; 大場隆之, 河崎尚夫, 綱島祥隆著
(半導体デバイスシリーズ / 權田俊一, 谷口研二編集 ; 3)

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 2010.9
本文言語 日本語
大きさ xx, 295p : 挿図 ; 21cm
目次/あらすじ

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ASRS 549/H2902/v.3 07664770
9784621082843

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一般注記 文献: 各章末
著者「河崎」の「崎」は「山竒」の置き換え
著者標目 谷口, 研二(1948-) <タニグチ, ケンジ>
鳥海, 明 <トリウミ, アキラ>
財満, 鎭明 <ザイマ, シゲアキ>
大場, 隆之 <オオバ, タカユキ>
河崎, 尚夫 <カワサキ, ヒサオ>
綱島, 祥隆 <ツナシマ, ヨシタカ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDC9:549.7
書誌ID 4100034810
ISBN 9784621082843
NCID BB0355079X WCLINK

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