で詳細を確認
ハクマク
薄膜
(実験物理学講座 / 近角聡信〔ほか〕企画編集 ; 8)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 共立出版 |
| 出版年 | 1992.9 |
| 大きさ | 418p ; 22cm |
目次／あらすじ
書誌詳細を非表示
| 内容注記 | 内容:薄膜製作技術 真空蒸着法 末沢慶孝,権藤靖夫著. プラズマやイオンを用いた成膜法 松原覚衛著. スパッタ法 中井順吉著. 化学的方法 有住徹弥著. 薄膜 導電体薄膜・誘電体薄膜・半導体薄膜 中井順吉著. 磁性薄膜 角野圭一著. 超伝導薄膜 菅原昌敬著. 人工格子膜 新庄輝也著. 薄膜製作技術補遺 権藤靖夫著. 各章末:文献 |
|---|---|
| 著者標目 | 近角, 聡信 <チカスミ,ソウシン> 権藤, 靖夫 <ゴンドウ,ヤスオ> |
| 件 名 | 物理学--実験 薄膜 |
| 分 類 | NDC:422.08 |
| 書誌ID | 1001170971 |
| ISBN | 432003063X |
| NCID |
BN07958297 
|