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ハクマク
薄膜
(実験物理学講座 / 近角聡信〔ほか〕企画編集 ; 8)

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1992.9
大きさ 418p ; 22cm
目次/あらすじ

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ASRS 422.08/J51/v.8 04245141
432003063X

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内容注記 内容:薄膜製作技術 真空蒸着法 末沢慶孝,権藤靖夫著. プラズマやイオンを用いた成膜法 松原覚衛著. スパッタ法 中井順吉著. 化学的方法 有住徹弥著. 薄膜 導電体薄膜・誘電体薄膜・半導体薄膜 中井順吉著. 磁性薄膜 角野圭一著. 超伝導薄膜 菅原昌敬著. 人工格子膜 新庄輝也著. 薄膜製作技術補遺 権藤靖夫著. 各章末:文献
著者標目 近角, 聡信 <チカスミ,ソウシン>
権藤, 靖夫 <ゴンドウ,ヤスオ>
件 名 物理学--実験
薄膜
分 類 NDC:422.08
書誌ID 1001170971
ISBN 432003063X
NCID BN07958297 WCLINK

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