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Transmission electron microscopy of silicon VLSI circuits and structures / R.B. Marcus and T.T. Sheng.

データ種別 図書
出版者 New York : Wiley
出版年 c1983.
本文言語 英語
大きさ x, 217 p. : ill. ; 29 cm.
目次/あらすじ

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ASRS(自動化書庫) 549/Ma5132t 02939814
0471092517

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一般注記 "A Wiley-Interscience publication."
Includes bibliographical references and index.
著者標目 Marcus, R. B.
Sheng, T. T.
件 名 Integrated circuits
Electron microscopy
Transmission electron microscopes
分 類 NDC:549
書誌ID 1000039248
ISBN 0471092517
NCID BA10264217 WCLINK

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