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シリコン
シリコン : 結晶成長とウェーハ加工 / 阿部孝夫著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ : エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 1 ; 5)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1994.5
大きさ 361p ; 22cm
目次/あらすじ

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GF:BOOK.SHELF 428/A122s 04733934
4563036056

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内容注記 各章末:参考文献
著者標目 阿部, 孝夫 <アベ,タカオ>
件 名 シリコン(半導体)
結晶成長
電子部品
分 類 NDC:428
書誌ID 1001200401
ISBN 4563036056
NCID BN10742751 WCLINK

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